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Familia REGULUS

 

NUEVOS FE-SEM

  Regulus 8100 Regulus 8220 Regulus 8230 Regulus 8240  
Secondary Electron Resolution 0.8 nm (Vacc: 15 kV) 0.7 nm (Vacc: 15 kV)  
1.1 nm (Landing voltage: 1 kV)*3 0.9 nm (Landing voltage: 1 kV)*3  
Accelerating voltage 0.5~30 kV 0.5~30 kV  
Landing voltage*3 0.1~2 kV 0.01~20 kV  
Mag. 20~1,000,000 ×*4 20~2,000,000 ×*4
Specimen stage Stage control 3-axis motor drive*5 5-axis motor drive  
Movable range X 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~110 mm  
Y 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~80 mm  
R 360°  
T -5~70°  
Z 1.5~30 mm 1.5~40 mm  
Stage repeatability - - - Less than ±0.5 µm  
*3 Observation in beam deceleration mode
*4 Magnification specified based on a display size of 127 mm × 95 mm
*5 The 5-axis motor drive is an option for the Regulus8100

 

su8200

Familia SU8200

 

Estos FE-SEM combinan una inigualable capacidad de imagen con analisis elemental y alta eficiencia.

 

 
Cámara
Recorrido del Stage (X,Y)

Control del

motor

SEC
Detectores
SU8220
6"
50mm x 50mm
5 ejes
6"
-Top (Hi-pass 
  filtro opcional)
-Upper (ExB)
-Lower
SU8230
8", puerto EBSD
110mm x 110mm
5 ejes
6" 
(8" opcional)
SU8240
8", puerto EBSD
110mm x 80mm

5 ejes con

REGULUS

 

su9000

SU9000 FE-SEM de ultra alta resolución y alto contraste

0-30 kV

0.34nm STEM

0.4 nm @ 30 Kv / 1.2 nm @ 1 Kv

Magnificación de hasta 3.000.000

Nuevo detector BF/DF Duo-STEM con imágenes BF y DF simultáneas

su70

SU-70 FE-SEM de alta resolución analítico. Filamento Schottky

0-30 kV

1.0 nm @ 15 Kv / 1.6 nm @ 1 Kv

Corriente de haz hasta 200 nA

X: 0-110 mm

Y: 0-110 mm

Z: 4-40 mm

su5000

SU5000 FE-SEM de alta resolución analítico de presión variable. Filamento Schottky

0.5-30 kV

1.2nm @ 30kV / 3.0nm @ 1kV / 2.0nm @ 1kV (con modo deceleración, opcional)

Modos de trabajo de alto y bajo vacío hasta 300Pa

Corriente de haz superior a 200 nA

X: 0-110 mm

Y: 0-50 mm

Z: 3-65 mm

 

 

 

inicio

 

Dirección: C/ Santa Leonor 63, 2º H C.P. 28037 Ciudad: Madrid (España) Telf. (+34) 91 326 74 97 Fax: (+34) 91 326 76 08 E-mail: mi2@monocomp-instrumentacion.com

optimizada para 1280x1024 ó 1920x1080 pixels

 

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